電感耦合等離子體質譜（ICP-MS）是一項高度復雜的多元素分析技術，它正越來越多地在制藥行業、食品與飲料行業以及環境監測中用于痕量元素的檢測與定量分析。

污染物的影響

在基于ICP-MS技術的痕量分析過程中，主要在前期步驟使用純水。顯而易見，任何存在于水中的污染物都可能對分析過程的所有其它步驟產生不利影響。因此，分析過程中使用的純水，例如用于樣品稀釋的純水等，都應該幾乎不含離子，同時具有相對較低的TOC濃度。

實驗室純水中污染物的影響：

總有機碳（TOC）化合物：

導致有機金屬化合物的產生，從而對痕量分析結果造成不利影響

污染設備組件

高離子濃度（電導率）：

大大影響分析物的能譜分析結果

導致分析結果失真

顆粒物：

堵塞分析儀器（如霧化器等）部件

可結合金屬，從而影響分析結果

細菌：

堵塞系統組件

釋放離子

關鍵因素

特別是，低離子濃度在制備ICP質譜分析樣品時能夠起到關鍵作用。由于ICP-MS是一項極為復雜的分析方法，因此所用純水必須具備極高的質量，例如電導率為0.055 μS/cm的ASTM I級超純水。此外，TOC水平必須保持在較低值（建議<10ppb）。