超純水機設備由于歷經了長期的置放，內部結構管道和壓力水桶里面存積的超純水有可能產生變質，為了更好地確保終端出水的質量及減低純化柱受污染的概率，系統應盡量在使用前進行反復清洗。

操作步驟如下所示

1、反復沖洗

打開水源、電源總開關，超純水機自行進入清洗工作流程，約30秒后，斷電1分鐘后，再一次打開電源總開關，超純水機再一次自行清洗，這樣反復3-5次。

2、檢驗ro反滲透水的水質量

在上述的清洗實現后，超純水機進入制水過程，第一步取用ro反滲透水，持續性放水五分鐘后檢驗ro反滲透水的水質量。水的質量：在源水的5%-10%之內為最佳(源水參照標準為200ppm)。

假如檢驗的數據信息結果顯示較高，則應再一次重復清洗步驟，或拆換ro反滲透膜過濾芯。

3、檢驗去離子水(DI)或超純水(UP)水的質量

當ro反滲透水的水質分析達標后，再取用去離子水(DI)或超純水(UP)，采用電導率儀檢測或從顯示屏上觀測去離子水(DI)或超純水(UP)水的質量。

去離子水(DI)水的質量：在10-18.2MΩ.cm(電導率為0.055~0.1us/cm)為達標。

超純水(UP)水的質量：在18.2MΩ.cm(電導率為0.055us/cm)為達標。

假如檢驗的數據信息在標準范圍以外，應持續性取水或開啟內循環模式(部分機型功能模塊)，或拆換純化柱過濾芯，避免出水的質量不達標而干擾實驗數據信息。

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