成都滲源科技助力晟光硅研半導體SYZ-V-20L超純水系統成功投運

近日，成都滲源科技有限公司為西安晟光硅研半導體科技有限公司完成SYZ-V-20L實驗室超純水系統的安裝調試，為這家專業半導體企業提供了符合SEMI標準的超純水解決方案。

晟光硅研在半導體晶圓制備、器件封裝等關鍵工藝環節對超純水質量要求極為嚴苛。針對半導體行業對TOC、顆粒物和金屬離子的特殊控制要求，滲源科技專業設計的SYZ-V-20L系統采用"雙級反滲透+紫外+終端微濾"純化工藝，產水電阻率穩定達到18.25MΩ·cm（25℃），TOC含量≤10ppb，顆粒物≤1個/mL，完全滿足半導體精密制程的用水需求。

滲源科技工程師團隊根據半導體潔凈車間要求，優化了設備安裝方案，并對操作人員進行了專業培訓。此次合作彰顯了滲源科技在半導體水處理領域的技術實力，公司將持續為行業提供更專業的超純水解決方案，助力中國半導體產業高質量發展。